일본의 부품과 장비, 소재에 대한 수출 규제로 우리 기업들이 어려움을 많이 겪고 있는데요.
반도체용 불화수소뿐만 아니라 이런 고순도 가스 소재의 품질을 평가할 수 있는 설비도 국산화에 성공했습니다.
국내 반도체용 가스소재 개발에 도움을 줄 전망입니다.
이정우 기자입니다.
[기자]
반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각 공정에는 불화수소가 사용됩니다.
그러나 고순도 불화수소는 일본 업체가 세계시장을 독점하고 있어 지난해 일본의 수출 규제 이후 국내 기업들이 어려움을 겪고 있습니다.
이런 가운데 국내 연구진이 불화수소 같은 고순도 가스 소재에 대한 품질을 정확하게 평가할 수 있는 설비를 구축했습니다.
[오상협 / 한국표준과학연구원 가스분석표준그룹 : 객관적인 품질 평가를 못 하는 거죠. 이때까지. 그래서 저희가 객관성을 가지고 품질을 평가하는 기술을 개발해서 평가를 해드리겠습니다.]
반도체용 불화수소를 시작으로 20여 종의 고순도 가스를 대상으로 시험검사 서비스를 제공한다는 계획입니다.
불화수소 품질 평가는 액체 상태의 불화수소를 기체로 만들어 가스 성분을 분석하는 방식으로 이뤄집니다.
적외선 분석기와 질량분석기 등을 사용해 20여 종의 금속성분 불순물을 분석해 최종 순도를 결정합니다.
무엇보다 우리 기술로 측정기술과 표준물질을 개발했다는 점에서 의미가 더욱 큽니다.
[정진상 / 한국표준과학연구원 가스분석표준그룹장 : 국내 경쟁력 강화 정책을 지원하기 위해서 저희 연구원은 반도체용 가스 소재의 수입 다변화 및 국산화를 지원해 주기 위한 연구를 수행하고 있습니다.]
연구진은 내년 상반기까지 표준 시험절차서를 만들고, 20여 종에 대한 가스소재 분석법을 개발해 국내 기업의 기술 자립화를 지원하기로 했습니다.
YTN 이정우[leejwoo@ytn.co.kr]입니다.
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