[앵커]
마이크로파와 적외선 사이 파장을 가진 고주파를 이용해 물질의 특성을 정확하게 파악할 수 있는 기술이 개발됐습니다.
반도체 기판의 크기를 줄이고 초소형 센서 등을 개발하는 데 큰 도움을 줄 것으로 기대됩니다.
이정우 기자입니다.
[기자]
테라헤르츠파를 이용한 계측 분석기술은 미래 유망기술 가운데 하나입니다.
마이크로파와 적외선 사이 0.3~3THz 대역인 테라헤르츠파는 비전도성 물체에 대한 투과성이 높으면서 인체 유해성이 낮아 반도체와 시설, 의료, 보안 분야에서 활용되고 있습니다.
테라헤르츠파를 사용하기 위해서는 투과 대상의 '전자파 물질상수'를 정밀하게 측정하는 게 중요하지만, 고유전율 물질의 경우 반사파가 많아 정확한 측정이 어려웠습니다.
한국표준과학연구원이 영국국립물리연구소와 공동으로 테라헤르츠파를 이용해 고유전율 물질을 정밀하게 측정하는 기술을 개발했습니다.
[홍영표 / 표준과학연구원 기반표준본부 : 반도체 기판 같은 경우는 유전율이 40으로 굉장히 높습니다. 그래서 이렇게 높은 유전율을 300㎓ 이상의 테라헤르츠파를 이용해서 정확히 정밀 측정한 것은 저희가 처음으로 알고 있습니다.]
고유전율 물질은 반도체 집적회로를 더 작게 만들 수 있고, 초소형 바이오·이미지 센서 등 미래 활용도가 높아 정확한 물질 특성 파악이 중요합니다.
연구팀이 반사파가 제거된 상태에서 고유전율 물질의 정확한 물질상수 값을 도출하는 데 성공한 겁니다.
이 기술 개발로 테라헤르츠파 활용 범위가 산업 전반에 걸쳐 폭넓게 확대될 것으로 보입니다.
반도체 측정과 집적회로 설계는 물론 그동안 적용이 어려웠던 식품 이물질 검출과 의료영상, 보안장비 분야 등에도 활용할 수 있습니다.
[강노원 / 표준과학연 전자파센터장 : 주파수 스펙트럼의 획기적인 확장이 가능해졌고 지금까지 명확히 밝혀지지 않은 테라헤르츠파 주파수 대역에서의 피측정물의 유전율 특성을 안정적으로 측정할 수 있게 되었습니다.]
산업계와 과학계에서 활발히 응용될 것으로 기대되는 이번 연구결과는 영국 공학기술학회의 '일렉트로닉스 레터스' 표지 논문으로 실렸습니다.
YTN 이정우[ljwwow@ytn.co.kr]입니다.
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